气敏半导体检漏仪主要部分为Sn02烧结体，测量丝和加热丝均直接埋于烧结体内，加热丝用以通电加热烧结体，使其处于最佳检漏灵敏度温度(SnO2烧结体一般为300℃左右)。测量丝用以测量其电阻值的变化。

气敏半导体检漏仪的测量线路它由桥式测量电路、张弛振荡器、功率放大器及电源等部分组成。检漏管GL为电桥一臂，其余各臂由电阻R1、R2，可调电阻W构成。

气敏半导体检漏仪的工作过程原理是：开机后待气敏半导体元件达到平衡温度时，调节W使电桥平衡，即调零。检漏时，利用气敏半导体元件的“气敏特性”，将可燃性气体的浓度转换为电信号，即测量丝电阻值发生变化。电桥失去平衡，由指示仪表uA反映出来，并推动振荡器使蜂鸣器发出音响信号。

如何选择检漏仪的示漏气体?

氦质谱检漏仪是由于选用氦气作为它的示漏气体而得名的。这是因为：氦气质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因而响应快，检漏灵敏度高;氦离子质荷比小，因可适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙加宽，从而提高氦离子的传输率;此外，氦在空气中及残余气体中含量最少，空气中氦气约只占二十万分之一;在材料出气中氨气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。所有这些因素，均为提高仪器的灵敏度创造了条件。而且，氦又是惰性气体，性质不活泼，不与真空器件起化学反应。无毒，不会污染环境，使用也十分安全。

但是，以氦作为示漏气体，也有一些不足之处，例如：橡胶、塑料等有机材料常常会吸收氦，然后还会在吸收后慢慢地释放出来;所有的离子收集板，对氦都会产生记忆效应，即氦离子打到离子收集板上，并贮存一定时间，然后再慢慢释放出来，从而造成本底和噪声。

在氦质谱检漏仪上除了氦以外，还可以用氢等做示漏气体，这须调整加速电压或磁感应强度，其灵敏度远比以氦作为示漏气体低。

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